半导体新刃
中国原子能科学研究院自主研制的首台串列型高能氢离子注入机成功出束，核心指标达国际先进水平。该突破标志着我国全面掌握该设备全链路研发技术，攻克功率半导体制造关键环节。离子注入机是半导体核心设（试读）...
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