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荷能离子作用对氧化铝颗粒表面类金刚石薄膜生长特性的影响-西安交通大学学报2025年03期

荷能离子作用对氧化铝颗粒表面类金刚石薄膜生长特性的影响

作者:安政杰 赵军平 艾志军 吴治诚 张乔根 字体:      

摘要:为掌握表面改性氧化铝颗粒的过程中颗粒表面类金刚石薄膜形貌的调控方法,基于空心阴极放电等离子体表面沉积系统,研究了不同形式的外施电压作用下,生长在氧化铝颗粒表面的类金刚石膜层的形貌特征及不同膜层形(试读)...

西安交通大学学报

2025年第03期