中图分类号:TH112 DOI:10.16578/j.issn.1004.2539.2026.01.013
0 引言
柔性铰链是一种一体化成形的高分辨率新型传动机构,具有小体积、无间隙、无机械摩擦、高定位精度等优点,广泛应用于微纳米操纵技术、微型机电(试读)...